序号

项目

CMC-800规格

1

设备外观尺寸

880mm（L）×960mm（W）×1880mm（H）

2

清洗盘规格

定制（清洗盘直径＜ø550mm)

3

清洗方式

二流体清洗

4

干燥方式

高速离心甩干

5

电源供应

AC380V 50HZ

6

总功率

7KW

7

耗电量

清洗时: 3.5kw/h

8

传动马力

3HP

9

环境过滤方式

0.3μm；99.999%

10

空气过滤方式

1μm×1；0.01μm×1

11

离心转速

100-1500RPM

12

纯水消耗量

0-7L/Min

13

气体消耗量

10-30m³/H

14

清洗压力

液体压力：3-8Kgf/cm²，空气压力：0.2-0.5Mpa

15

DI水供应

流量：＞7LPM  电阻率：＞17MΩ

16

气源供应

压力：0.45-0.7Mpa；流量：＞30m³/H（洁净度符合清洗要求）

17

纯水入口径

ø12mm软管或PT1/2″内螺纹

18

气源入口径

ø12mm气管

19

排水出口径

PT 1″内螺纹

20

排气口口径

4″×2（需加强抽风,风速大于3m/sec）

21

机器净重

450KG